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核心优势
高效深度清洁
空化效应:通过40-120kHz高频振动,在清洗液中产生微小气泡,溃灭时释放5000K高温和5GPa压力,彻底剥离晶体表面的氧化铈、指纹、金属屑等污垢。
多槽工艺:典型流程包括溶剂超声波清洗→高压喷淋→纯水超声漂洗→热风烘干,确保清洗后表面洁净度达ISO 3级(颗粒直径≤0.1μm)。
抛动助洗:清洗槽内设置摇动机构,使工件在液中不同高度往复运动,提升复杂结构(如棱镜、滤光片)的清洗均匀性。
环保与安全
水基清洗剂:替代传统有机溶剂,减少VOCs排放,符合欧盟RoHS标准。
全封闭结构:配备抽风系统,实时排出废气,防止溶剂挥发对操作人员造成伤害。
防爆设计:采用气液分离回收装置,避免溶剂蒸气积聚引发爆炸风险。
自动化与智能化
PLC+人机界面:支持10套以上清洗程序存储,可自由设置温度(常温-100℃)、时间(1-30分钟)、频率(40/68/132kHz)等参数。
机械臂系统:单臂式机械手定位精度±0.1mm,承载力达50kg,适配不同尺寸工装治具。
在线检测:部分高端机型集成颗粒计数器,实时监测清洗液洁净度,自动触发更换提醒。